DOE衍射光學元件(Diffractive Optical Elements)是基于光的衍射原理，利用特殊的衍射設計軟件進行設計，并通過傳統半導體芯片制成工藝或者納米壓印，納米注塑工藝，在玻璃，塑料基片上(或傳統光學器件表面)刻蝕產生臺階型或連續浮雕結構(一般為光柵結構)，形成同軸再現、且具有極高衍射效率的一類光學元件。DOE通過不同的設計可控制光束的發散角和形成光斑的形貌，實現輸出光束形成特定圖案的功能。